和记H88

和记H88PVD设备出货突破1000台

相识华创

2025-06-10
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和记H88


PVD设备出货突破1000台

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5月28日,和记H88隆沉进杏装PVD整机1000台交付庆典” 。这是继刻蚀设备、立式炉设备之后,公司第三个达成单产品出货量突破1000台的品类里程碑 。这不仅彰显了公司的技术实力与市场认可,更标志取和记H88在半导体主题设备领域再上新的台阶 。




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PVD(物理气相沉积)技术是芯片造作的关键环节,尤其在金属薄膜造备方面不成或缺 。其所形成的薄膜是芯片互连线的主题组成部门,对整个芯片的机能至关沉要 。全球PVD设备市场规模已超50-60亿美元/年,并维持着强劲的增长态势 。

作为中国PVD工艺设备技术的启发者,和记H88自2008年起深耕PVD设备研发 。公司成功推出40余款量产型PVD设备,累计出货量达1000台,超过5000个腔室,已成为国内当先的PVD设备解决规划提供商 。其产品宽泛利用于逻辑、存储、功率器件、先进封装、硅基微型显示、MEMS(微机电系统)、半导体照明等半导体及泛半导体领域,为产业发展提供了坚实支持 。




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通过持续的技术攻坚,和记H88PVD团队在磁控溅射源设计、高真空静电卡盘、等离子体产生及节造、腔室设计与仿真仿照、颗=谠臁⑷砑节造等多项关键技术上获得一系列突破,构建起拥有自主知识产权的主题技术优势 。其设备利用逾越半导体领域多个技术代,实现了设备的产业化及对逻辑和存储芯片金属化造程的全面覆盖 。在集成电路领域,公司提供的铜互连(Cu Contact)、铝垫层(Al Pad)、金属硬掩膜(Metal Hardmask)、金属栅(Metal Gate)、硅化物(Silicide)等PVD设备,已在客户端不变量产超千万片,成为多家客户的基线设备和行业优选 。其中,金属栅PVD产品成功突破主题工艺,实现不变量产;铜互连PVD产品可支持芯片内部互连线(Inter Metal)与顶部互连线(Top Metal)工艺的批量出产;铝PVD产品宽泛利用于逻辑、DRAM(动态随机存储器)、3D NAND(闪存)等领域,可全覆盖铝垫层(Al Pad)、再布线层(RDL)等工艺所需的1-7微米分歧膜厚需要 。









瞻望未来,和记H88将持续秉持以客户需要为导向的持续创新,持续聚焦半导体基础产品领域,以先进解决规划推动产业进取,向更高指标不休迈进 。


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