等离子刻蚀设备
Etch
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PSE V300系列
12英寸等离子体深硅刻蚀机
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ACE E300
12英寸等离子体高选择比刻蚀机
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ACE E300Ge
12英寸等离子体高选择比刻蚀机
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ACE I300(V)
12英寸等离子体干法去胶机
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NMC 508系列
8英寸等离子体介质刻蚀机
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8英寸等离子体金属刻蚀机
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8英寸等离子体硅刻蚀机
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Accura RX系列
12英寸化学气相刻蚀机
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Accura NZ
12英寸介质刻蚀机
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Accura LX系列
12英寸介质刻蚀机
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Accura BE
12英寸晶边刻蚀机
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NMC 612G
12英寸金属刻蚀机
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Landscape A
12英寸等离子体浸没离子注入机
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NMC 612E
12英寸ICP刻蚀机
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NMC 612D
12英寸硅刻蚀机
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NMC 612C
12英寸硅刻蚀机
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NMC 612M
12英寸氮化钛金属硬掩膜刻蚀机
物理气相沉积设备
PVD
化学气相沉积设备
CVD
湿法设备
WET
立式炉管设备
Vertical Furnace
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THEORIS X302P
12英寸立式中温氧化炉
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THEORIS X302H
12英寸立式高温氧化炉
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THEORIS SN302D Adv
12英寸立式氮化硅低压化学气相沉积炉
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THEORIS PY302D
12英寸立式掺杂多晶硅低压化学气相沉积炉
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THEORIS A302L
12英寸立式低温退火炉
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SICRIUS PY302U
12英寸先进非掺杂多晶硅低压化学气相沉积炉
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FLOURIS 201系列
201系列 8/6英寸立式炉
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DEMAX TN302T
12英寸立式氮化钛原子层沉积炉
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DEMAX CON302X
12英寸立式低介电常数原子层沉积炉
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DEMAX SN302P
12英寸立式等离子体加强氮化硅原子层沉积炉
