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公司名称：
业务联系人：张敬博
3080B 12英寸单片洗濯设备
3080B 12 Inch Single wafer clean Tool
用于集成电路 ，先进封装、新兴利用等领域12英寸后段背面洗濯 ，控片洗濯等工艺 ，选取多片式传输系统保险高效工艺产出；精密的腔室设计 ，支持高效的化学品回收效能；可建设伯努利卡盘 ，有效；ぞг舱；搭载热异丙醇（IPA）干燥技术 ，实现优良的干燥成效。
设备特点
优良的颗粒与背面刻蚀均匀性节造能力
不变的晶圆传输、定位、翻转能力
晶圆正面；ぜ际
支持多种化学品同时回收 ，预防交叉传染
高效的化学品回收效能 ，最低的用户成本
产品利用
晶圆尺寸
12英寸
合用资料
单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜
合用工艺
背面洗濯 ，背面刻蚀 ，硅刻蚀 ，控片洗濯
合用领域
集成电路 ，先进封装、新兴利用
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