Polaris 系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统
Polaris 系列 12 Inch Backside Metal PVD System
Polaris 系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统重要由大气平台，真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备选取Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室，适合封装领域、功携带域薄膜造备大规模出产。Polaris 系列PVD为全自动大产能设备，拥有wafer自动传输，工艺去气，晶片表表预清洁、薄膜沉积齐全自动化等特点。
