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公司名称：
业务联系人：顾文亮
Booster U630 超低介电常数薄膜紫表处置系统
Booster U630 UV Cure System
Booster U630产品是一款针对后段紫表固化处置薄膜的化学气相沉积设备，合用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对12英寸晶圆的全自动化工艺处置。该系统选取尺度化的传输系统和 ？榛墓ひ涨皇疑杓，配置矫捷、工艺窗口宽、职能集成度高，各项工艺技术指标均达到国际先进水平。
设备特点
双腔室设计，大产能，低运营成本
怪异的气流场设计与控压组件，工艺环境不变
优异的紫表光辐照节造，卓越的温度场阐发
腔室原位洗濯技术，提高工艺不变性与一致性
产品利用
晶圆尺寸
12英寸
合用资料
低 / 超低介电常数薄膜、氮化硅
合用工艺
紫表固化、热处置、去电荷
合用领域
40nm以下集成电路
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