FLOURIS 201系列 201系列 8/6英寸立式炉
FLOURIS 201系列 8/6 Inch Vertical Furnace
本产品重要利用于6/8英寸集成电路（IC）及化合物领域 中高温氧化及退火工艺。该机台为批式热处置设备，拥有片内均匀性好、自动化水平高、系统机能不变的特点，能够满足大规模集成电路出产线要求。重要由工艺腔室、传输系统、气体分配系统、尾气系统和温度节造系统等组成Ｄ芄皇迪指裳酢⑹鹾筒袈妊趸ひ占巴嘶鸸ひ，最高支持1200℃工艺。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用领域
