Hesper PN430R Ⅱ 12英寸等离子体氮化系统
Hesper PN430R Ⅱ 12 Inch Decoupled Plasma Nitridation System
Hesper PN430R Ⅱ重要用于12英寸栅极氮化工艺。该机台为多腔集群设备，可能进行全自动并行工艺处置。工艺？榻趸璧奶焐⒌壤胱拥χ眉凹本缛韧嘶鹑惶褰屑，这三个腔体选取一个共同的晶圆传输平台，在一个机台上实现了栅的氧化、等离子体氮处置及急剧退火，极尽可能地抑造了氮向沟路及绝缘栅、沟路界面的渗入，有效地增大了绝缘栅介电常数并且降低了有效绝缘栅厚度。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用领域
