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半导体设备 Semiconductor
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公司名称：
业务联系人：卢雪妮
Accura LX系列 12英寸介质刻蚀机
Accura LX系列 12 Inch Dielectric Etcher
重要为12英寸逻辑领域G0及以上节点（含G0）BEOL AIO工艺提供解决规划。设备建设双频脉冲射频+Top DC，有效节造等离子体能量及密度，提高TiN选择比；C/M/E三区进气可调；ESC 4zone精准控温；高温腔体降低TiF副产品并削减polymer沉积？墒迪志嫉目撞勖枘〗谠。
设备特点
高关键尺寸均匀性和高选择比
高均匀气体散布和急剧进气技术
精准的孔槽描摹节造能力
精准的 wafer 温度节造
产品利用
晶圆尺寸
12英寸
合用资料
氧化硅、氮化硅
合用工艺
M0 接触槽、接触孔、一体式（通孔和槽）刻蚀
合用领域
集成电路
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