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业务联系人：翟梦阳
Satur系列 多片式MOCVD系统
Satur系列 Batch MOCVD System
Satur系列为多片式MOCVD表延设备，合用于4/6/8英寸的硅基/蓝宝石基/碳化硅基氮化镓表延工艺及砷化镓/磷化铟表延工艺，可利用于功率器件、Micro-LED、射频器件领域及LED、光伏、光通讯领域。Satur 系列选取盒对盒全自动传输，先进的实季节造系统、大面积均匀温度场、大领域不变可调气流场，可能满足化合物半导体先进器件对表延层组分、厚度和掺杂均匀性的高要求。
设备特点
优异的均匀性、一致性、不变性节造
盒对盒全自动传输系统
先进的实时监控系统
敦睦界面与配方编纂职能
满足SEMI S2 安全尺度
产品利用
晶圆尺寸
4、6、8英寸
合用资料
氮化镓、砷化镓、磷化铟
合用衬底
硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟
合用领域
集成电路、化合物半导体、科研
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