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FLVP850/1100
立式陆续型PVD镀膜设备
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公司名称:
FLVP850/1100 立式陆续型PVD镀膜设备
FLVP850/1100 Vertical in-line PVD Coater
FLVP系列产品阴极均竖直装置,产品装夹在载板上从阴极处陆续通过。设备由多组?榛婵涨皇易槌,腔室内可配置铠装或红表加热、阳极层离子源或弧光离子源、直流溅射磁控阴极、反映溅射磁控阴极、阴极电弧等分歧技术部件,实现金属、金属化合物以及碳系涂层的造备。
设备特点
技术组合矫捷,可合用金属、金属化合物、碳系涂层
腔室?榛杓,易拓展,产能配置大幼可调
双面同时镀膜,提高涂层造备效能
设备内多沉干净防护,守护更换便捷
可拓展配套自动化,及智能工厂
技术指标
基材尺寸
有效高度850/1100/1500mm
基材厚度
≥0.1mm
年产能
氢能双极板150-500万片
走速领域
30-1000mm/min
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