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公司名称:
CRJM/CZRJM Series 真空卷绕PVD镀膜设备
CRJM/CZRJM Series Roll to Roll Web PVD Coater
CRJM/CZRJM系列产品重要用于柔性基材表表的真空镀膜。该类设备为卷对卷结构大局,能够实现对各类金属箔材以及塑料基材的真空卷绕,并实现基材表表金属、化合物和绝缘资料的真空沉积。设备由卷绕、溅射、主体腔室、真空、冷却、主鼓冷热循环等各系统组成。
设备特点
优化的腔室结构设计,镀膜沉积环境整体节造,保险成膜质量
优良的空气隔离技术,兼容金属溅射和反映溅射同时工作
精确的张力节造系统,可实现分段张力节造
矫捷的卷绕系统设计,可实现正、反卷绕,可兼容各类厚度基材
特造磁场低温沉积技术,偏压吸附技术,实现高动态沉积速度
技术指标
柔性基材
合用于金属箔、柔性塑料、玻璃纤维布、石墨等基材
基材厚度
≥4.5?m
主鼓温度
-35~35℃
卷绕速度
0.5~300m/min
张力领域
15~600N,节造精度领域±2N
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