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NMC 508系列
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公司名称：
业务联系人：成晓艳
NMC 508系列 8英寸低危险刻蚀机
NMC 508系列 GaN Etcher
GaN刻蚀机选取怪异的等离子体源，刻蚀速度精密可控，侧壁及底部危险幼、均匀性好，易守护，机能不变 。其在Micro LED、GaN功率器件、GaN-GaAs射频器件的刻蚀上机能优异 。已在多条主流产线验证成功，具备急剧导入量产的能力 。
设备特点
怪异的射频系统，业界当先的危险节造能力和表表节造能力
怪异的绝缘片吸附技术，可实现蓝宝石片源不变吸附
兼容ALE模式，工艺拓展能力凸起
软件量身定造，具备急剧更新能力
产品利用
晶圆尺寸
4/6/8英寸
合用领域
GaN功率、GaAs RF射频、新型显示等
合用资料
氮化镓、介质、铝镓氮、铟镓砷等
合用工艺
PGaN、AlGaN、GaN Via、整面减薄等
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