和记H88
首页
关于华创
新闻&活动
产品&服务
参与和记H88
投资者关系
切换说话
关于华创
相识华创
品牌释义
企业文化
行业职位
企业荣誉
社会责任
合规申明
新闻&活动
企业新闻
展会活动
产品&服务
半导体设备
真空设备
精密元器件
服务网络
参与和记H88
人才理想
校园招聘
社会招聘
海表招聘
内部推荐
人在NAURA
投资者关系
相识华创
品牌释义
企业文化
行业职位
企业荣誉
社会责任
合规申明
人才理想
校园招聘
社会招聘
海表招聘
内部推荐
人在NAURA
企业新闻
展会活动
半导体设备
真空设备
精密元器件
服务网络
产品系列
等离子刻蚀设备 Etch
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
湿法设备 WET
立式炉管设备 Vertical Furnace
离子注入设备 Implant
急剧热处置设备 RTP
表延设备 EPI
利用领域
集成电路 IC
先进封装 Advanced Packaging
化合物半导体 Compound Semiconductor
新兴利用与科研领域设备 Emerging Applications and R&D
客户服务 Services
备品备件 Parts
产品系列
石墨纯化设备 Graphite purification Furnace
化学气相沉积工艺设备 CVD/CVI Furnace
陆续高温设备 Continuous high-temperature Furnace
烧结工艺设备 Sintering Furnace
先进热处置工艺设备 Heat Treatment Furnace
钎焊工艺设备 Brazing Furnace
物理气相沉积工艺设备 PVD Furnace
单晶炉设备 Single Crystal Growing Furnace
钕铁硼晶界扩散工艺设备 NdFeB grain boundary diffusion process equipment
锂离子电池极片造作设备 Li-ion Battery Electrode Manufacturing Equipment
利用领域
先进陶瓷 Advanced Ceramics
金属热处置 Metal heat treatment
碳材 Carbon material
真空电子元器件 Vacuum electronic components
复合集流体行业 Composite collector fluid Industry
氢能行业 Hydrogen Energy Industry
新能源光伏 Photovoltaic Industry
磁性资料行业 Magnetic materials Industry
锂电池极片电池造作 The Li-ion Battery Electrode Manufacturing
产品系列
电源？ Power Supply Module
晶体器件 Crystal Device
精密电阻器 Precision Resistor
微波组件 Microwave Module
钽电容器 Tantalum Capacitor
搜索
简体中文
English
首页
产品&服务
半导体设备
等离子刻蚀设备
8英寸等离子体深硅刻蚀机
半导体设备 Semiconductor
NMC 508系列
8英寸等离子体深硅刻蚀机
联系征询
公司名称：
业务联系人：成晓艳
NMC 508系列 8英寸等离子体深硅刻蚀机
NMC 508系列 Deep Silicon etcher
深硅刻蚀机重要用于4/6/8英寸深硅干法刻蚀工艺。配置手动或自动传输系统 ，合用于MEMS器件研发、中试线、大规模量产等分歧场景。产品配置高密度双立体等离子体源 ，中心边缘进气 ，急剧气体切换 ，低频脉冲下电极系统 ，能够实现高速、深邃宽比、高均匀性及极幼的侧壁粗糙度。
设备特点
可实现4/6/8英寸切换
高密度双立体等离子体源设计
急剧气体切换
中心加边缘进气 ，优异的均匀性
400K 下射频且具备脉冲职能
产品利用
晶圆尺寸
4/6/8英寸
合用领域
MEMS
合用资料
硅
合用工艺
Via、CT等
分享我们：
微信扫一扫
联系和记H88
官方公家号
【网站地图】
