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业务联系人：eVictor AX30、eVictor AX30 Ⅱ--黄其伟 eVictor GX30--罗建恒
eVictor 系列 Al PVD 铝物理气相沉积系统
eVictor 系列 Al PVD System
eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统重要由大气平台，真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备选取Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室，其中工艺腔室可凭据客户选择配置分歧工艺资料的腔室。eVictor系列PVD设备拥有反映腔自动开关盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片表表预清洁、薄膜沉积齐全自动化等特点。
设备特点
先进的磁控溅射系统，有效提高薄膜均匀性及靶材利用率
怪异的加热基座和高温静电卡盘设计，具备优良的温度均匀性
全新双腔传输平台，可配置性强，最多可支持10个工艺？
优质的Whisker解决规划，降低产品缺点
大产能，低运营成本
产品利用
晶圆尺寸
8、12 英寸
合用资料
高温铝、氮化钽、氮化钛、钛
合用工艺
热铝、铝焊盘、铝线
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